| Наименования дисциплин в соответствии со структурой образовательной программы по годам обучения | Количество обучающихся, изучающих дисциплину | | Обеспечение обучающихся основной учебной и учебно-методической литературой и информационными ресурсами |
| Перечень и реквизиты литературы (автор, название, год и место издания) или адрес ресурса (не более 5-ти на дисциплину) | Количество экз./чел. |
|
| Технология тонких пленок | 18 |
| 1. Сергиенко, А. А. Процессы микро- и нанотехнологии. Нанесение тонких пленок вакуум-термическим испарением на установке ВУП-5 (N 4526) : учеб. пособие / А.А. Сергиенко, А.С. Курочка, С.В. Подгорная ; НИТУ МИСИС, Ин-т новых материалов; Каф. технологии материалов электроники. — М. : [МИСиС], 2025. — 85с. : рис. + Библиогр.: с. 85. — Режим доступа : http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=987783328. — Пособие МИСиС. — ISBN 978-5-907833-51-7. | 1.00 |
| 2. Технология материалов электронной техники: Разд.: Микротехнология тонких пленок и твердотельных структур : Лаб. практикум для студ. направлений 550700, 551600, 553100 и спец. 200100, 200200 / В. В. Аленков. — М. : Учеба, 1998. — 57 с. : ил. + Библиогр. в конце разд. — Режим доступа : http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=133277. — (МИСиС, Каф. микротехнол. компонентов электрон. техники. N1454). — Пособие МИСиС. | 1.00 |
|
