Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Knigob Matieres
Печать
/Упрощенная форма/Экспорт (Excel)
Дисциплина: Технология тонких пленок
| № | Дисциплина | Кафедра | Цикл | Студ. осен. | Студ. весн. | Курс | Сем. | ||||||
| 1 | Технология тонких пленок | Кафедра Технологии материалов электроники | Б1 Дисциплины (модули) : Вариативная часть | 18 | 0 | 4 | 7 | ||||||
| № | Учебная литература | Гриф | Год | Экз. | Осенний сем. | Весенний сем. | ∑ КО | ||||||
| Дисц. | Студ. | КО | Дисц. | Студ. | КО | ||||||||
| 1 | Сергиенко, А. А. Процессы микро- и нанотехнологии. Нанесение тонких пленок вакуум-термическим испарением на установке ВУП-5 (N 4526) : учеб. пособие / А.А. Сергиенко, А.С. Курочка, С.В. Подгорная ; НИТУ МИСИС, Ин-т новых материалов; Каф. технологии материалов электроники. — М. : [МИСиС], 2025. — 85с. : рис. + Библиогр.: с. 85. — Режим доступа : http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=987783328. — Пособие МИСиС. — ISBN 978-5-907833-51-7. | 2: УМО и НМС | 2025 | 0 | 1 | 18 | 1.00 | 0 | 0 | --- | 1.00 | ||
| 2 | Технология материалов электронной техники: Разд.: Микротехнология тонких пленок и твердотельных структур : Лаб. практикум для студ. направлений 550700, 551600, 553100 и спец. 200100, 200200 / В. В. Аленков. — М. : Учеба, 1998. — 57 с. : ил. + Библиогр. в конце разд. — Режим доступа : http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=133277. — (МИСиС, Каф. микротехнол. компонентов электрон. техники. N1454). — Пособие МИСиС. | 1: Без грифа | 1998 | 5 | 2 | 20 | 1.00 | 1 | 0 | --- | 1.00 | ||
| Итого по дисциплине : Технология тонких пленок | 5 | 1.00 | --- | 1.00 | |||||||||