| Наименования дисциплин в соответствии со структурой образовательной программы по годам обучения | Количество обучающихся, изучающих дисциплину | | Обеспечение обучающихся основной учебной и учебно-методической литературой и информационными ресурсами |
| Перечень и реквизиты литературы (автор, название, год и место издания) или адрес ресурса (не более 5-ти на дисциплину) | Количество экз./чел. |
|
| Элионная технология в микро- и наноиндустрии | --- |
| 1. Кузнецов, Г. Д. Получение пленок и эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов: Разд.: Получение текстурированных слоев : курс лекций для студ. спец. 0643 / Г. Д. Кузнецов. — М. : Учеба, 1981. — 72 с. — Режим доступа : http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=45022. — Пособие МИСиС : руб. 0.12. | 1.00 |
| 2. Технология многослойных структур для микроэлектроники. Разд.: Элионная технология в микроэлектронике : лаб. практикум для студ. спец. 0643 / В. В. Крапухин. — М. : Учеба, 1986. — 146с. — Режим доступа : http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=112292. — Пособие МИСиС : руб. 0.26. | 1.00 |
| 3. Кузнецов, Г. Д. Элионная технология в микро- и наноиндустрии : курс лекций / Г. Д. Кузнецов. — М. : Изд-во МИСиС, 2008. — 155 с. : ил. + Библиогр.: с.155. — Режим доступа : http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=464381. — Пособие МИСиС. | 1.00 |
| 4. Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций : учеб. пособие / ; Г. Д. Кузнецов, А. А. Сергиенко, С. Б. Симакин, др.; МИСиС, Каф. технологии материалов электроники. — М. : Изд-во МИСиС, 2012. — 121с. : рис. + Библиогр.: с. 120-121. — Режим доступа : http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=520912. — Пособие МИСиС. — ISBN 978-5-87623-547-3. | 1.00 |
| 5. Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы : учеб. пособие / ; Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, А. А. Сергиенко, Н. А. Харламов; МИСиС, Каф. технологии материалов электроники. — М. : Изд-во МИСиС, 2012. — 127с. : рис. + Библиогр.: с. 95. - Прил.: с. 96-127. — Режим доступа : http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=526825. — Пособие МИСиС. — ISBN 978-5-87623-556-5. | 1.00 |
|
