Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Knigob Matieres
Печать
/Упрощенная форма/Экспорт (Excel)
Дисциплина: Элионная технология в микро- и наноиндустрии
| № | Дисциплина | Кафедра | Цикл | Студ. осен. | Студ. весн. | Курс | Сем. | ||||||
| 1 | Элионная технология в микро- и наноиндустрии | Кафедра Технологии материалов электроники | Б1 Дисциплины (модули) : Вариативная часть | 0 | 0 | 5, 6 | 9, 10, 11 | ||||||
| № | Учебная литература | Гриф | Год | Экз. | Осенний сем. | Весенний сем. | ∑ КО | ||||||
| Дисц. | Студ. | КО | Дисц. | Студ. | КО | ||||||||
| 1 | Кузнецов, Г. Д. Получение пленок и эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов: Разд.: Получение текстурированных слоев : курс лекций для студ. спец. 0643 / Г. Д. Кузнецов. — М. : Учеба, 1981. — 72 с. — Режим доступа : http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=45022. — Пособие МИСиС : руб. 0.12. | 1: Без грифа | 1981 | 2 | 2 | 2 | 1.00 | 1 | 0 | --- | 1.00 | ||
| 2 | Технология многослойных структур для микроэлектроники. Разд.: Элионная технология в микроэлектронике : лаб. практикум для студ. спец. 0643 / В. В. Крапухин. — М. : Учеба, 1986. — 146с. — Режим доступа : http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=112292. — Пособие МИСиС : руб. 0.26. | 1: Без грифа | 1986 | 5 | 2 | 2 | 1.00 | 1 | 0 | --- | 1.00 | ||
| 3 | Кузнецов, Г. Д. Элионная технология в микро- и наноиндустрии : курс лекций / Г. Д. Кузнецов. — М. : Изд-во МИСиС, 2008. — 155 с. : ил. + Библиогр.: с.155. — Режим доступа : http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=464381. — Пособие МИСиС. | 2: УМО и НМС | 2008 | 5 | 1 | 0 | 1.00 | 0 | 0 | --- | 1.00 | ||
| 4 | Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций : учеб. пособие / ; Г. Д. Кузнецов, А. А. Сергиенко, С. Б. Симакин, др.; МИСиС, Каф. технологии материалов электроники. — М. : Изд-во МИСиС, 2012. — 121с. : рис. + Библиогр.: с. 120-121. — Режим доступа : http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=520912. — Пособие МИСиС. — ISBN 978-5-87623-547-3. | 2: УМО и НМС | 2012 | 5 | 1 | 0 | 1.00 | 0 | 0 | --- | 1.00 | ||
| 5 | Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы : учеб. пособие / ; Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, А. А. Сергиенко, Н. А. Харламов; МИСиС, Каф. технологии материалов электроники. — М. : Изд-во МИСиС, 2012. — 127с. : рис. + Библиогр.: с. 95. - Прил.: с. 96-127. — Режим доступа : http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=526825. — Пособие МИСиС. — ISBN 978-5-87623-556-5. | 2: УМО и НМС | 2012 | 5 | 1 | 0 | 1.00 | 0 | 0 | --- | 1.00 | ||
| Итого по дисциплине : Элионная технология в микро- и наноиндустрии | 22 | --- | --- | --- | |||||||||