Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Справочник индексов УДК
К списку индексов УДК
Доступно
1 из 1
Доступно
1 из 1
621.315.5/.6:539.216.2:537.534(043.3)
Сортировать по: заглавиюдате издания
Доступно
1 из 1
Диссертация
Симакин, С. Б.
Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных ...: дис... д.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников,
[МИСиС], 2009 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный
Симакин, С. Б.
Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных ...: дис... д.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников,
[МИСиС], 2009 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный
Доступно
1 из 1
Автореферат
Симакин, С. Б.
Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных ...: автореф. дис... д.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства
[МИСиС], 2009 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный
Симакин, С. Б.
Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных ...: автореф. дис... д.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства
[МИСиС], 2009 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный