Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Полунин, В. Н. - Исследование и получение слоев двуокиси кремния и кремния в кислород- и хлоро-содержащей низкотем...
Полунин, В. Н. - Исследование и получение слоев двуокиси кремния и кремния в кислород- и хлоро-содержащей низкотем...
Доступно
1 из 1
1 из 1
Автореферат
Автор: Полунин, В. Н.
Исследование и получение слоев двуокиси кремния и кремния в кислород- и хлоро-содержащей низкотем... : автореф. дис..., спец. 05.17.16 - "Технология полупроводниковых и электровакуумных материалов"
Издательство: [МИСиС], 1977 г.
ISBN отсутствует
Автор: Полунин, В. Н.
Исследование и получение слоев двуокиси кремния и кремния в кислород- и хлоро-содержащей низкотем... : автореф. дис..., спец. 05.17.16 - "Технология полупроводниковых и электровакуумных материалов"
Издательство: [МИСиС], 1977 г.
ISBN отсутствует
Заказать 
На полку
Автореферат
Полунин, В. Н.
Исследование и получение слоев двуокиси кремния и кремния в кислород- и хлоро-содержащей низкотемпературной плазме : автореф. дис..., спец. 05.17.16 - "Технология полупроводниковых и электровакуумных материалов" / В. Н. Полунин . – М. : [МИСиС], 1977 . – 28 с. - Для служебного пользования.
Общий = Физика : плазма
Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
Общий = Физика : полупроводники
СП-8625 21:Фонд дис.ДСП МИСИС
Полунин, В. Н.
Исследование и получение слоев двуокиси кремния и кремния в кислород- и хлоро-содержащей низкотемпературной плазме : автореф. дис..., спец. 05.17.16 - "Технология полупроводниковых и электровакуумных материалов" / В. Н. Полунин . – М. : [МИСиС], 1977 . – 28 с. - Для служебного пользования.
Общий = Физика : плазма
Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
Общий = Физика : полупроводники
СП-8625 21:Фонд дис.ДСП МИСИС