Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Артамонов, В. В.
Влияние кислорода на процессы ионно-лучевого синтеза скрытых слоев карбида кремния в кремнии / Атомная структура и неэлектронные свойства полупроводников / В. В. Артамонов, М. Я. Валах, Н. И. Клюй, В. П. Мельник, А. Б. Романюк, Б. Н. Романюк, В. А. Юхимчук // Физика и техника полупроводников . – 1998 . – Т. 32, N 12 . – 1414-1419 .