Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Данилин, Б. С. - Вакуумно-технические проблемы ионного, ионно-химического и плазмохимического травления микроструктур
Данилин, Б. С. - Вакуумно-технические проблемы ионного, ионно-химического и плазмохимического травления микроструктур
Доступно
1 из 1
1 из 1
Книга
Автор: Данилин, Б. С.
Вакуумно-технические проблемы ионного, ионно-химического и плазмохимического травления микроструктур : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1973-1984гг.)
Издательство: Электроника, 1984 г.
ISBN отсутствует
Автор: Данилин, Б. С.
Вакуумно-технические проблемы ионного, ионно-химического и плазмохимического травления микроструктур : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1973-1984гг.)
Издательство: Электроника, 1984 г.
ISBN отсутствует
Книга
VIII-5 Д-182
Данилин, Б. С.
Вакуумно-технические проблемы ионного, ионно-химического и плазмохимического травления микроструктур : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1973-1984гг.) / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев . – М. : Электроника, 1984 . – 55 с. : ил. + Библиогр.: с. 52-55 . – ( ; 5(1050)) : руб. 0.50 .
621.382.049.77
569346 01:Книгохранение
VIII-5 Д-182
Данилин, Б. С.
Вакуумно-технические проблемы ионного, ионно-химического и плазмохимического травления микроструктур : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1973-1984гг.) / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев . – М. : Электроника, 1984 . – 55 с. : ил. + Библиогр.: с. 52-55 . – ( ; 5(1050)) : руб. 0.50 .
621.382.049.77
569346 01:Книгохранение