Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Скворцов, И. М. - Физико-технологические основы процессов низкотемпературного, локального роста и легирования в про...
Скворцов, И. М. - Физико-технологические основы процессов низкотемпературного, локального роста и легирования в про...
Доступно
1 из 1
1 из 1
Диссертация
Автор: Скворцов, И. М.
Физико-технологические основы процессов низкотемпературного, локального роста и легирования в про... : дис... д.т.н., спец. 05.27.06
1989 г.
ISBN отсутствует
Автор: Скворцов, И. М.
Физико-технологические основы процессов низкотемпературного, локального роста и легирования в про... : дис... д.т.н., спец. 05.27.06
1989 г.
ISBN отсутствует
Заказать 
На полку
Диссертация
Скворцов, И. М.
Физико-технологические основы процессов низкотемпературного, локального роста и легирования в промышленных системах газофазной эпитаксии кремния : дис... д.т.н., спец. 05.27.06 / И. М. Скворцов . – 1989 . – 283 с. : ил. + Библиогр.: с. 250-272. - (П/Я А-3562). - Для служебного пользования.
Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
Общий = Кристаллография : кристаллы : рост
Общий = Металлургия : металлургические процессы : легирование
СП-22921 23:Фонд дис.ДСП др.орг.
Скворцов, И. М.
Физико-технологические основы процессов низкотемпературного, локального роста и легирования в промышленных системах газофазной эпитаксии кремния : дис... д.т.н., спец. 05.27.06 / И. М. Скворцов . – 1989 . – 283 с. : ил. + Библиогр.: с. 250-272. - (П/Я А-3562). - Для служебного пользования.
Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
Общий = Кристаллография : кристаллы : рост
Общий = Металлургия : металлургические процессы : легирование
СП-22921 23:Фонд дис.ДСП др.орг.