Электронный каталог -Галанин, С. Г. - Фазообразование и термостабильность пленок нитрида вольфрама на арсениде галлия, осаждаемых ионно...- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Галанин, С. Г. - Фазообразование и термостабильность пленок нитрида вольфрама на арсениде галлия, осаждаемых ионно...

Галанин, С. Г. - Фазообразование и термостабильность пленок нитрида вольфрама на арсениде галлия, осаждаемых ионно...

Доступно
1 из 1

Диссертация
Автор: Галанин, С. Г.
Фазообразование и термостабильность пленок нитрида вольфрама на арсениде галлия, осаждаемых ионно... : дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология полупроводников и материалов электронной техники"
Издательство: [МИСиС], 1995 г.
ISBN отсутствует

Заказать

На полку

Диссертация
Г-15д

Галанин, С. Г.
Фазообразование и термостабильность пленок нитрида вольфрама на арсениде галлия, осаждаемых ионно-лучевым распылением : дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология полупроводников и материалов электронной техники" / С. Г. Галанин ; науч. рук. Г. Д. Кузнецов . – М.; Рязань : [МИСиС], 1995 . – 194 с. + Библиогр.: с. 184-194. - (Гос. ком. РФ по оборонным отраслям промышленности, Н.-и. технол. ин-т).

621.315.592:539.216.2

Общий = Физика : твердое тело : тонкие пленки
Общий = Физика : полупроводники
Общий = Физика : твердое тело : фазовые превращения
Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : вольфрам
Общий = Химическая технология : химические вещества : соединения химических веществ

640686 19:Фонд дис.МИСИС