Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Глава 3. Особенности формирования магнитных пленок методом катодного распыления. 3.1. Разновидности катодного распыления. 3.2. Магнитные свойства катодно-осажденных пленок. 3.3. Окислительные процессы в металлических пленках. 3.4. Влияние электрического заряда поверхности подложки на механизм формирования пленок. 3.5. Различие в составах пленок и распыляемой многокомпонентной мишени. 3.6. Особенности структуры катодно-осажденных магнитных пленок // Магнитные металлические пленки в микроэлектронике / Р. Д. Иванов . – М. : Сов. радио, 1980 . – с. 87-112 .