Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Глава 1. Физико-химические основы метода жидкостной эпитаксии: Классификация методов жидкостной эпитаксии. Основные особенности метода жидкостной эпитаксии. Фазовое равновесие в системе подложка-расплав-пар: Диффузионные процессы в жидкой фазе. Влияние подложки и материала растворителя на процесс жидкостной эпитаксии. Расчет фазовых равновесий: Качественная характеристика фазовых равновесий. Расчет равновесий между жидкой и твердой фазами с использованием в качестве термодинамических констант энтальпии и энтропии плавления. Расчет равновесий между жидкой и твердой фазами с использованием констант химического равновесия. Расчет парциальных давлений паров в равновесных системах газ-жидкость. Уравнения для коэффициентов активности и численные значения констант для некоторых систем. Общая характеристика основных типов фазовых диаграмм и 'равновесная' кристаллизация. Особенности неравновесной кристаллизации // Жидкостная эпитаксия в технологии полупроводниковых приборов / В. М. Андреев, Л. М. Долгинов, Д. Н. Третьяков, Ж. И. Алферов . – М. : Сов. радио, 1975 . – с. 9-66 .