Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Глава 5. Химическое и физическое поведение примесей: Определения примесей в полупроводниках: Спектральный анализ. Масс-спектрометрия. Радиоактивационный анализ. Рентгеновское определение параметров решетки и прецизионные измерения плотности. Электрические методы. Растворимость активных примесей в германии и кремнии: Природа атомов. Коэффициент распределения k. Растворимость в твердом состоянии и ретроградная растворимость. Определение растворимости. Расчетные выражения для коэффициента распределения. Взаимодействие дефектов и закон действующих масс. Влияние образования новых пар на растворимость в твердом состоянии. Диффузия химических примесей: Основные законы диффузии. Механизм диффузии по узлам. Влияние на диффузию ионного взаимодействия. Диффузия меди в германии и кремнии. Выделение примесных элементов: Кинетика выделения меди из германия. Выделение никеля из германия. Дислокации и другие зародыши выделений. Выделение лития из германия и кремния. Термические акцепторы и электрическое поведение полупроводников: Термическая обработка и роль меди в германии и кремнии. Кислород в кремнии. Кислород в германии // Несовершенства и активные центры в полупроводниках : Пер. с англ. / Р. Г. Родес, М. А. Бетуганов, А. А. Галаев, С. С. Горелик, Ю. М. Литвинов . – М. : Металлургия, 1968 . – с. 196-251 .