Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Глава 7. Травление и образование ямок травления: Химия травления: Подготовка поверхности. Химические реакции в процессе травления. Факторы, определяющие скорость травления. Физические характеристики ямок травления: Ямки травления на германии. Ямки травления на кремнии. Форма ямок травления и направление дислокаций. Спиральные ямки травления. Соответствие между ямками травления и дислокациями: Дислокационная граница. Декорирование и другие способы выявления дислокаций. Доказательства объективного характера ямок травления. Механизм травления: Растворение поверхности и зарождение ямок. Примеси в травителе. Природа террасообразной структуры ямок травления. Влияние на травление примесей, содержащихся в кристалле. Природа спиральных ямок травления: Геликоидальные дислокации и спиральные структуры. Другие возможные источники спиралей. Приложение: Травители для германия и кремния // Несовершенства и активные центры в полупроводниках : Пер. с англ. / Р. Г. Родес, М. А. Бетуганов, А. А. Галаев, С. С. Горелик, Ю. М. Литвинов . – М. : Металлургия, 1968 . – с. 308-352 .