Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Ходос, Ю. А. - Разработка ионно-стимулируемого процесса получения пленок аморфного водород и хлорсодержащего кре...
Ходос, Ю. А. - Разработка ионно-стимулируемого процесса получения пленок аморфного водород и хлорсодержащего кре...
Доступно
1 из 1
1 из 1
Автореферат
Автор: Ходос, Ю. А.
Разработка ионно-стимулируемого процесса получения пленок аморфного водород и хлорсодержащего кре... : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06
Издательство: [МИСиС], 1986 г.
ISBN отсутствует
Автор: Ходос, Ю. А.
Разработка ионно-стимулируемого процесса получения пленок аморфного водород и хлорсодержащего кре... : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06
Издательство: [МИСиС], 1986 г.
ISBN отсутствует
Заказать 
На полку
Автореферат
VIII-5 Х-694а
Ходос, Ю. А.
Разработка ионно-стимулируемого процесса получения пленок аморфного водород и хлорсодержащего кремния в высокочастотном разряде : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 / Ю. А. Ходос, Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 1986 . – 28 с. - (Для служебного пользования).
СП-19432 21:Фонд дис.ДСП МИСиС
VIII-5 Х-694а
Ходос, Ю. А.
Разработка ионно-стимулируемого процесса получения пленок аморфного водород и хлорсодержащего кремния в высокочастотном разряде : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 / Ю. А. Ходос, Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 1986 . – 28 с. - (Для служебного пользования).
СП-19432 21:Фонд дис.ДСП МИСиС