Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Ходос, Ю. А. - Разработка ионно-стимулируемого процесса осаждения пленок аморфного водород- и хлорсодержащего кр...
Ходос, Ю. А. - Разработка ионно-стимулируемого процесса осаждения пленок аморфного водород- и хлорсодержащего кр...
Доступно
1 из 1
1 из 1
Диссертация
Автор: Ходос, Ю. А.
Разработка ионно-стимулируемого процесса осаждения пленок аморфного водород- и хлорсодержащего кр... : дис... к.т.н.
Издательство: [МИСиС], 1986 г.
ISBN отсутствует
Автор: Ходос, Ю. А.
Разработка ионно-стимулируемого процесса осаждения пленок аморфного водород- и хлорсодержащего кр... : дис... к.т.н.
Издательство: [МИСиС], 1986 г.
ISBN отсутствует
Заказать 
На полку
Диссертация
VIII-5 Х-694д
Ходос, Ю. А.
Разработка ионно-стимулируемого процесса осаждения пленок аморфного водород- и хлорсодержащего кремния в высокочастотном разряде : дис... к.т.н. / Ю. А. Ходос, Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 1986 . – 197 с. + Библиогр.: с. 185-197. - (Для служебного пользования).
СП-18131 21:Фонд дис.ДСП МИСиС
VIII-5 Х-694д
Ходос, Ю. А.
Разработка ионно-стимулируемого процесса осаждения пленок аморфного водород- и хлорсодержащего кремния в высокочастотном разряде : дис... к.т.н. / Ю. А. Ходос, Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 1986 . – 197 с. + Библиогр.: с. 185-197. - (Для служебного пользования).
СП-18131 21:Фонд дис.ДСП МИСиС