Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Ушаков, А. С. - Исследование процесса и разработка технологии шлифования и полирования кремниевых подложек для из...
Ушаков, А. С. - Исследование процесса и разработка технологии шлифования и полирования кремниевых подложек для из...
Доступно
1 из 1
1 из 1
Автореферат
Автор: Ушаков, А. С.
Исследование процесса и разработка технологии шлифования и полирования кремниевых подложек для из... : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.12.11
1975 г.
ISBN отсутствует
Автор: Ушаков, А. С.
Исследование процесса и разработка технологии шлифования и полирования кремниевых подложек для из... : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.12.11
1975 г.
ISBN отсутствует
Автореферат
У-932а
Ушаков, А. С.
Исследование процесса и разработка технологии шлифования и полирования кремниевых подложек для изготовления интегральных схем : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.12.11 / А. С. Ушаков . – 1975 . – 21 с. - (Моск.ин-т электронной техники). (Для служебного пользования).
СП-7625 21:Фонд дис.ДСП МИСиС
У-932а
Ушаков, А. С.
Исследование процесса и разработка технологии шлифования и полирования кремниевых подложек для изготовления интегральных схем : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.12.11 / А. С. Ушаков . – 1975 . – 21 с. - (Моск.ин-т электронной техники). (Для служебного пользования).
СП-7625 21:Фонд дис.ДСП МИСиС