Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Григорьев, Н. Н.
Формирование макрорельефа поверхности пластин при бесконтактном химико-механическом полировании / Функциональные покрытия и обработка поверхности / Н. Н. Григорьев, М. Ю. Кравецкий, Г. А. Пащенко, С. А. Сыпко, А. В. Фомин // Физика и химия обработки материалов . – Журнал основа в январе 1967 года . – 2002 . – N 6 . – с. 49-54 .