Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Байдакова, М. В.
Получение алмазных пленок на кристаллическом кремнии методом термического газофазного осаждения / Атомная структура и неэлектронные свойства полупроводников / М. В. Байдакова, А. Я. Вуль, В. Г. Голубев, С. А. Грудинкин, В. Г. Мелехин, Н. А. Феоктистов, А. Крюгер // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 2002 . – Т. 36, N 6 . – с. 651-657 .