Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Карзанов, В. В.
Изменения свойств ионно-синтезированной гетеросистемы SixNy-Si в результате термических и ионно-лучевых обработок / Полупроводниковые структуры, границы раздела и поверхность / В. В. Карзанов, К. А. Марков, В. В. Сдобняков, Е. С. Демидов // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 2002 . – Т. 36, N 9 . – с. 1060-1064 .