Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Чапланов, А. М. - Рост эпитаксиальной пленки TiN на титане при обработке азот-водородной плазмой / Плазмохимические...
Чапланов, А. М. - Рост эпитаксиальной пленки TiN на титане при обработке азот-водородной плазмой / Плазмохимические...
Статья
Автор: Чапланов, А. М.
Физика и химия обработки материалов: Рост эпитаксиальной пленки TiN на титане при обработке азот-водородной плазмой / Плазмохимические...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Чапланов, А. М.
Физика и химия обработки материалов: Рост эпитаксиальной пленки TiN на титане при обработке азот-водородной плазмой / Плазмохимические...
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Чапланов, А. М.
Рост эпитаксиальной пленки TiN на титане при обработке азот-водородной плазмой / Плазмохимические способы получения и обработки материалов / А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Физика и химия обработки материалов . – 2000 . – N 5 . – 19-21 .
Чапланов, А. М.
Рост эпитаксиальной пленки TiN на титане при обработке азот-водородной плазмой / Плазмохимические способы получения и обработки материалов / А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Физика и химия обработки материалов . – 2000 . – N 5 . – 19-21 .