Электронный каталог -Юнкин, В. А. - Исследование особенностей реактивного ионно-плазменного травления кремния при формировании микрос...- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Юнкин, В. А. - Исследование особенностей реактивного ионно-плазменного травления кремния при формировании микрос...

Юнкин, В. А. - Исследование особенностей реактивного ионно-плазменного травления кремния при формировании микрос...

Доступно
1 из 1

Автореферат
Автор: Юнкин, В. А.
Исследование особенностей реактивного ионно-плазменного травления кремния при формировании микрос... : автореф. дис... к.физ.-мат.н.
1998 г.
ISBN отсутствует

Заказать

На полку

Автореферат

Юнкин, В. А.
Исследование особенностей реактивного ионно-плазменного травления кремния при формировании микроструктур с широким диапазоном аспектных отношений : автореф. дис... к.физ.-мат.н. / В. А. Юнкин . – 1998 . – 20 с. + Библиогр.: с.19-20.

Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
Общий = Физика : полупроводники
Общий = Материаловедение

109993м 20:Фонд дис.др.орг.