Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Качурин, Г. А.
Рост монокристаллического a-Si3N4 в захороненных слоях, полученных низкоинтенсивной имплантацией ионов N+ в нагретый кремний / Г. А. Качурин, И. Е. Тысченко, А. Е. Плотников, В. П. Попов // Физика и техника полупроводников . – 1992 . – Т. 26, N 8 . – 1390-1393 .