Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Шаповалов, В. П. - Кинетика образования структурных дефектов в поверхностном слое кремния при термическом окислении
Шаповалов, В. П. - Кинетика образования структурных дефектов в поверхностном слое кремния при термическом окислении
Статья
Автор: Шаповалов, В. П.
Физика и техника полупроводников: Кинетика образования структурных дефектов в поверхностном слое кремния при термическом окислении
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Шаповалов, В. П.
Физика и техника полупроводников: Кинетика образования структурных дефектов в поверхностном слое кремния при термическом окислении
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Шаповалов, В. П.
Кинетика образования структурных дефектов в поверхностном слое кремния при термическом окислении / В. П. Шаповалов, В. И. Грядун, В. П. Токарев // Физика и техника полупроводников . – 1993 . – Т. 27, N 11-12 . – 1851-1856 .
Шаповалов, В. П.
Кинетика образования структурных дефектов в поверхностном слое кремния при термическом окислении / В. П. Шаповалов, В. И. Грядун, В. П. Токарев // Физика и техника полупроводников . – 1993 . – Т. 27, N 11-12 . – 1851-1856 .