Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Киланов, Д. В.
Водородно-индуцированное скалывание в кремнии по загубленному слою, сильно легированному бором / Атомная структура и неэлектронные свойства полупроводников / Д. В. Киланов, В. П. Попов, Л. Н. Сафронов, А. И. Никифоров, Р. Шольц // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 2003 . – Т. 37, N 6 . – с. 644-648 .