Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Абрамов, А. С.
Исследование пленок аморфного гидрированного нитрида кремния, полученных в плазме высокачастотного разряда / А. С. Абрамов, А. Я. Виноградов, В. Г. Голубев, А. И. Косарев, М. А. Матюшкина, А. В. Пацекин // Физика и техника полупроводников . – 1996 . – Т. 30, N 11 . – с. 1943-1951 .