Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Александров, П. А.
Высокотемпературная ионная имплантация мышьяка в кремний / Краткие сообщения / П. А. Александров, Е. К. Баранова, В. В. Бударагин, К. Д. Демаков, Е. В. Котов, А. П. Новиков, С. Г. Шемардов // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 1990 . – Т. 24, N 6 . – с. 1132-1133 .