Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Бумай, Ю. А. - Влияние обработки в водородной плазме на электрофизические свойства кремния, легированного фосфором
Бумай, Ю. А. - Влияние обработки в водородной плазме на электрофизические свойства кремния, легированного фосфором
Статья
Автор: Бумай, Ю. А.
Физика и техника полупроводников: Влияние обработки в водородной плазме на электрофизические свойства кремния, легированного фосфором
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Бумай, Ю. А.
Физика и техника полупроводников: Влияние обработки в водородной плазме на электрофизические свойства кремния, легированного фосфором
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Бумай, Ю. А.
Влияние обработки в водородной плазме на электрофизические свойства кремния, легированного фосфором / Ю. А. Бумай, А. Г. Ульяшин, И. А. Шакин, Н. В. Шлопак // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 1990 . – Т. 24, N 12 . – с. 2141-2144 .
Бумай, Ю. А.
Влияние обработки в водородной плазме на электрофизические свойства кремния, легированного фосфором / Ю. А. Бумай, А. Г. Ульяшин, И. А. Шакин, Н. В. Шлопак // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 1990 . – Т. 24, N 12 . – с. 2141-2144 .