Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Миттов, О. Н. - Формирование пленок оксида кремния на кремнии при термодеструкции триметилхлорсилана в присутстви...
Миттов, О. Н. - Формирование пленок оксида кремния на кремнии при термодеструкции триметилхлорсилана в присутстви...
Статья
Автор: Миттов, О. Н.
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники: Формирование пленок оксида кремния на кремнии при термодеструкции триметилхлорсилана в присутстви...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Миттов, О. Н.
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники: Формирование пленок оксида кремния на кремнии при термодеструкции триметилхлорсилана в присутстви...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Миттов, О. Н.
Формирование пленок оксида кремния на кремнии при термодеструкции триметилхлорсилана в присутствии оксида азота (1) и аммиака / Эпитаксиальные слои и многослойные композиции / О. Н. Миттов, Н. И. Пономарева, И. Я. Миттова, Е. Д. Новикова, М. Н. Безрядин // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники . – 2001 . – N 2 . – с. 48-51 .
Миттов, О. Н.
Формирование пленок оксида кремния на кремнии при термодеструкции триметилхлорсилана в присутствии оксида азота (1) и аммиака / Эпитаксиальные слои и многослойные композиции / О. Н. Миттов, Н. И. Пономарева, И. Я. Миттова, Е. Д. Новикова, М. Н. Безрядин // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники . – 2001 . – N 2 . – с. 48-51 .
Привязано к:
Нет экз.