Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Тысченко, И. Е.
Формирование пленок нанокристаллического кремния имплантацией больших доз ионов Н+ в слои кремния на изоляторе и последующим быстрым термическим отжигом / Низкоразмерные системы / И. Е. Тысченко, В. П. Попов, А. Б. Талочкин, А. К. Гутаковский, К. С. Журавлев // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 2004 . – Т. 38, N 1 . – с. 111-116 .