Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Комаров, Ф. Ф.
Остаточные дефекты в кремнии, имплантированном ионами бора и фосфора / Воздействие потоков энергии на материалы / Ф. Ф. Комаров, М. Джадан, П. И. Гайдук, А. Р. Челядинский, В. Ю. Явид, П. В. Жуковский, Я. Партыка, П. Венгерек // Физика и химия обработки материалов . – Журнал основа в январе 1967 года . – 2004 . – N 4 . – с. 33-36 .