Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Дзян, А. С. - Некоторые особенности травления пленок силицидов титана и молибдена в химически активной плазме
Дзян, А. С. - Некоторые особенности травления пленок силицидов титана и молибдена в химически активной плазме
Книга (аналит. описание)
Автор: Дзян, А. С.
Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Некоторые особенности травления пленок силицидов титана и молибдена в химически активной плазме
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Дзян, А. С.
Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Некоторые особенности травления пленок силицидов титана и молибдена в химически активной плазме
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Дзян, А. С.
Некоторые особенности травления пленок силицидов титана и молибдена в химически активной плазме / А. С. Дзян, А. А. Евтух, Н. А. Семененко // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника : Межвед. сб. науч. тр. / С. В. Свечников . – Киев : Наук. думка, 1982. - Вып.38 : Оптоэлектроника и полупроводниковая техника . – 2003 . – с.243-249 .
Дзян, А. С.
Некоторые особенности травления пленок силицидов титана и молибдена в химически активной плазме / А. С. Дзян, А. А. Евтух, Н. А. Семененко // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника : Межвед. сб. науч. тр. / С. В. Свечников . – Киев : Наук. думка, 1982. - Вып.38 : Оптоэлектроника и полупроводниковая техника . – 2003 . – с.243-249 .