Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Орлов, Л. К.
Сопоставительный анализ моделей кинетики распада молекул силана на поверхности при эпитаксиальном росте пленок кремния в вакууме / Полупроводниковые структуры, границы раздела и поверхность / Л. К. Орлов, Т. Н. Смыслова // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 2006 . – Т. 40, N 1 . – с. 45-51 .