Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Баранов, И. Л.
Влияние быстрого отжига на электрофизические свойства структур SiO2/Si с тонкими слоями анодного оксида кремния / Полупроводниковые структуры, границы раздела и поверхность / И. Л. Баранов, Л. В. Табулина, Л. С. Становая, Т. Г. Русальская // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 2006 . – Т. 40, N 8 . – с. 944-948 .