Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Парчинский, П. Б.
Исследование влияния ультразвукового воздействия на генерационные характеристики предварительно облученной границы раздела кремний-диоксид кремния / Полупроводниковые структуры, границы раздела и поверхность / П. Б. Парчинский, С. И. Власов, Л. Г. Лигай // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 2006 . – Т. 40, N 7 . – с. 829-832 .