Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Курбатов, О. К.
Исследование зависимостей разрядного тока в ячейке пеннинга от физических параметров с целью оптимизации сверхвысоковакуумных ионно-распылительных (магниторазрядных) насосов / О. К. Курбатов // Оборудование и технологии для производства компонентов твердотельной электроники и наноматериалов : материалы III рос.-яп. семинара (12 апр. 2005 г. Москва) / ред. Л. В. Кожитов . – М. : Учеба, 2005 . – С. 96-106 .