Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Кожитов, Л. В.
Получение непланарных эпитаксиальных структур кремния методом парофазной эпитаксии химическим осаждением на поверхность цилиндрических подложек / Л. В. Кожитов, А. С. Гришко, Т. Т. Кондратенко, В. В. Митин, С. В. Август, В. В. Симонова, В. В. Чинаров // Оборудование и технологии для производства компонентов твердотельной электроники и наноматериалов : материалы III рос.-яп. семинара (12 апр. 2005 г. Москва) / ред. Л. В. Кожитов . – М. : Учеба, 2005 . – С. 149-152 .