Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Сергиенко, А. А. - Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковы...
Сергиенко, А. А. - Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковы...
Доступно
1 из 1
1 из 1
Диссертация
Автор: Сергиенко, А. А.
Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковы... : дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
Издательство: [МИСиС], 2006 г.
ISBN отсутствует
Автор: Сергиенко, А. А.
Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковы... : дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
Издательство: [МИСиС], 2006 г.
ISBN отсутствует
Диссертация
С-322д
Сергиенко, А. А.
Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления : дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / А. А. Сергиенко ; науч. рук. Г. Д. Кузнецов ; науч. конс. С. Б. Симакин . – М. : [МИСиС], 2006 . – 144с. : ил. + Библиогр.: с. 138-144 .
539.216 : 537.534(043.3)
Общий = Материаловедение : полупроводники
Общий = Физика : твердое тело : тонкие пленки
662054 19:Фонд дис.МИСиС
С-322д
Сергиенко, А. А.
Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления : дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / А. А. Сергиенко ; науч. рук. Г. Д. Кузнецов ; науч. конс. С. Б. Симакин . – М. : [МИСиС], 2006 . – 144с. : ил. + Библиогр.: с. 138-144 .
539.216 : 537.534(043.3)
Общий = Материаловедение : полупроводники
Общий = Физика : твердое тело : тонкие пленки
662054 19:Фонд дис.МИСиС