Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Дзян, А. С. - Предварительные активирующие обработки поверхности в процессе плазмохимического травления кремния...
Дзян, А. С. - Предварительные активирующие обработки поверхности в процессе плазмохимического травления кремния...
Книга (аналит. описание)
Автор: Дзян, А. С.
Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Предварительные активирующие обработки поверхности в процессе плазмохимического травления кремния...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Дзян, А. С.
Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Предварительные активирующие обработки поверхности в процессе плазмохимического травления кремния...
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Дзян, А. С.
Предварительные активирующие обработки поверхности в процессе плазмохимического травления кремния и его соединений / А. С. Дзян, А. А. Евтух, Н. А. Семененко // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника : Межвед. сб. науч. тр. / С. В. Свечников . – Киев : Наук. думка, 1982. - Вып.40 : Оптоэлектроника и полупроводниковая техника . – 2005 . – С. 204-214 .
Дзян, А. С.
Предварительные активирующие обработки поверхности в процессе плазмохимического травления кремния и его соединений / А. С. Дзян, А. А. Евтух, Н. А. Семененко // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника : Межвед. сб. науч. тр. / С. В. Свечников . – Киев : Наук. думка, 1982. - Вып.40 : Оптоэлектроника и полупроводниковая техника . – 2005 . – С. 204-214 .