Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Ильин, В. А. - Методика эпитаксиального наращивания кубического карбида кремния на кремнии по технологии CVD
Ильин, В. А. - Методика эпитаксиального наращивания кубического карбида кремния на кремнии по технологии CVD
Статья
Автор: Ильин, В. А.
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники: Методика эпитаксиального наращивания кубического карбида кремния на кремнии по технологии CVD
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Ильин, В. А.
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники: Методика эпитаксиального наращивания кубического карбида кремния на кремнии по технологии CVD
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Ильин, В. А.
Методика эпитаксиального наращивания кубического карбида кремния на кремнии по технологии CVD / В. А. Ильин, А. З. Казак-Казакевич, А. В. Матузов, А. С. Петров // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники . – 2007 . – N 3 . – С. 22-25 .
Ильин, В. А.
Методика эпитаксиального наращивания кубического карбида кремния на кремнии по технологии CVD / В. А. Ильин, А. З. Казак-Казакевич, А. В. Матузов, А. С. Петров // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники . – 2007 . – N 3 . – С. 22-25 .