Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Пичугин, Р. В.
Математический расчет состава парогазовой смеси при синтезе пленок а-SiC:H из паров кремнийорганических мономеров, протекающий в диффузионной области процесса / Р. В. Пичугин, Б. М. Синельников, В. А. Тарала, И. С. Митченко, Л. А. Кашарина // Оборудование, технологии и аналитические системы для материаловедения, микро- и наноэлектроники. Т. 2 : материалы V Российско-японского семинара (18-19 июня 2007 г.) / ред. Л. В. Кожитов . – М. : Изд-во МИСиС, 2007 . – С. 736-739 .