Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Усанов, Д. А.
Измерение нанометровых металлических слоев на изолирующих подложках с использованием волноводных фотонных структур в свч-диапазоне / Д. А. Усанов, А. В. Скрипаль, А. В. Абрамов, А. С. Боголюбов, В. С. Скворцов, М. К. Мерданов // Оборудование, технологии и аналитические системы для материаловедения, микро- и наноэлектроники. Т. 1 : материалы V Российско-Японского семинара (18-19 июня 2007 г.) / ред. Л. В. Кожитов . – М. : Изд-во МИСиС, 2007 . – С. 466-475 .