Электронный каталог -Симакин, С. Б. - Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных ...- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Симакин, С. Б. - Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных ...

Симакин, С. Б. - Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных ...

Доступно
1 из 1

Диссертация
Автор: Симакин, С. Б.
Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных ... : дис... д.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
Издательство: [МИСиС], 2009 г.
ISBN отсутствует

Заказать

На полку

Диссертация
С-37д

Симакин, С. Б.
Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники : дис... д.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / С. Б. Симакин ; науч. конс. Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 2009 . – 388с. : ил. + Библиогр.: с. 363-381. - Прил.: с. 382-388.

621.315.5/.6:539.216.2:537.534(043.3)

Общий = Материаловедение : материалы электроники
Общий = Физика : твердое тело : тонкие пленки
Общий = Материаловедение : испытания материалов : дефектоскопия : неразрушающий контроль

368505 19:Фонд дис.МИСиС