Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Артемов, А. С.
Кинетические закономерности процессов химико-механического полирования (ХМП) полупроводников, диэлектриков и проводников / А. С. Артемов, И. Г. Рузавин, С. Б. Фарафонов // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов : труды VII Междунар. рос.-казахстанско-яп. науч. конф. (3-4 июня 2009 года) / ред. Л. В. Кожитов . – М. : Изд-во МГИУ, 2009 . – С. 640-664 .