Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Иванов, С. А.
Оборудование и технология изготовления алмазных и алмазоподобных пленок методом плазмохимического газофазного осаждения / С. А. Иванов // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов : труды VII Междунар. рос.-казахстанско-яп. науч. конф. (3-4 июня 2009 года) / ред. Л. В. Кожитов . – М. : Изд-во МГИУ, 2009 . – С. 872-895 .