Электронный каталог -Астров, Ю. А. - Перераспределение глубоких примесей селена и серы в кремнии при легировании поверхности фосфором- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Астров, Ю. А. - Перераспределение глубоких примесей селена и серы в кремнии при легировании поверхности фосфором

Астров, Ю. А. - Перераспределение глубоких примесей селена и серы в кремнии при легировании поверхности фосфором

Статья
Автор: Астров, Ю. А.
Физика и техника полупроводников: Перераспределение глубоких примесей селена и серы в кремнии при легировании поверхности фосфором
б.г.
ISBN отсутствует

На полку

Статья

Астров, Ю. А.
Перераспределение глубоких примесей селена и серы в кремнии при легировании поверхности фосфором / Ю. А. Астров, В. А. Козлов, А. Н. Лодыгин, Л. М. Порцель, В. Б. Шуман, E. L. Gurevich, R. Hergenroder // Физика и техника полупроводников . – 2009 . – Т. 43, N 6 . – С.:739-744 .