Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Норматов, И. Ш.
Плазмохимический метод получения пленок нитрида алюминия / Плазмохимические способы получения и обработки материалов / И. Ш. Норматов, Р. К. Ханонов, М. С. Хидиров, Н. Шерматов, З. Х. Гайбуллаева, У. Мирсаидов // Физика и химия обработки материалов . – Журнал основа в январе 1967 года . – 2002 . – N 1 . – с. 62-64 .