Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Чернявский, Л. И. - Термодинамическое моделирование осаждения кремния из газовой фазы системы Si-Cl-H
Чернявский, Л. И. - Термодинамическое моделирование осаждения кремния из газовой фазы системы Si-Cl-H
Статья
Автор: Чернявский, Л. И.
Неорганические материалы: Термодинамическое моделирование осаждения кремния из газовой фазы системы Si-Cl-H
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Чернявский, Л. И.
Неорганические материалы: Термодинамическое моделирование осаждения кремния из газовой фазы системы Si-Cl-H
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Чернявский, Л. И.
Термодинамическое моделирование осаждения кремния из газовой фазы системы Si-Cl-H / Л. И. Чернявский, В. А. Титов, С. В. Сысоев, С. В. Рыженков // Неорганические материалы . – 2009 . – Т. 45, N 5 . – С. 517-521.
Чернявский, Л. И.
Термодинамическое моделирование осаждения кремния из газовой фазы системы Si-Cl-H / Л. И. Чернявский, В. А. Титов, С. В. Сысоев, С. В. Рыженков // Неорганические материалы . – 2009 . – Т. 45, N 5 . – С. 517-521.
Привязано к:
Доступно
1 из 1