Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Ефремов, А. М. - Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержа...
Ефремов, А. М. - Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержа...
Статья
Автор: Ефремов, А. М.
Нанотехника: Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержа...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Ефремов, А. М.
Нанотехника: Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержа...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Ефремов, А. М.
Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержащих газовых смесях / А. М. Ефремов, В. И. Светцов, С. А. Пивоваренок, А. В. Дунаев // Нанотехника . – 2010 . – N 2 (22) . – С. 77-80 .
Ефремов, А. М.
Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержащих газовых смесях / А. М. Ефремов, В. И. Светцов, С. А. Пивоваренок, А. В. Дунаев // Нанотехника . – 2010 . – N 2 (22) . – С. 77-80 .
Привязано к:
Доступно
1 из 1