Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Соболев, Н. А.
Влияние собственных точеченых дефектов на формирование структурных дефектов и оптически активных центров при отжиге кремния, имплантированного эрбием и диспрозием / Семинар... / Н. А. Соболев, Е. И. Шек, А. М. Емельянов, В. И. Вдовин, Т. Г. Югова // Физика и техника полупроводников . – 1999 . – Т. 33, N 6 . – 656-659 .